光罩全自动影像测量仪
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详细信息

产品介绍：

最新光罩全自动影像测量仪7060系列为独家测量技术突破之革命性影像测量系统，结合最新光罩技术（Glass Mask）取代传统以光学尺计数之测量模式。无光学尺、无累计误差之大行程悬臂式影像测量仪器，将光学尺所产生的区段误差、累计误差、回程误差等问题彻底消除。突破在大行程测量仪器上的限制，更能精确与客观的获得确切数据。专门针对电路板、铭板、印刷、Touch Panel等业界测量研发设计。

产品特点：

·基座、立柱、工作台全机采用精密00级花岗岩，降低形变系数，稳定性高；

·三轴高精度伺服马达传动；

·独家专利光罩技术测量仪，无光学尺和编码器，无阿贝误差，精度不受机械误差影响；

·技术突破，悬臂式大行程影像测量仪，高精度，无累计误差；

·可搭配激光测头应用；

·搭配专业版测量软件EF系列软件；

·芯片、电路板、铭板、印刷、Touch Panel等专用测量机型。

技术参数：

·型号：7060

·行程：（mm）X-700  Y-600  Z-100

·外形尺寸：1860*1270*1680

·工作台大小：1020*920

·工作台承重：5kg

·机台重量：800kg

·轴向测量精度：XY（3μm+5L/1000）μm

·平面精度：<5μm

·控制方式：自动

·摄像机：SOV-A级高解析1/3"  彩色CCD

          SOV-A级测量专用型镜头

·光源：轮廓光LED，亮度连续可调

        表面光LED，亮度连续可调

·放大倍数：30x-200x（光学放大倍率为0.7-4.5倍）

·选配功能：七海16向全视角旋转灯源系统

            七海12段自动变焦镜头

            美国NAVITA测量专用镜头

         触发测头探针组（智慧型探针测量系统）

         激光位移感测系统

·工作距离：90mm

·电源：220V±10%，50Hz（用电设备要求接地可靠：接地电阻小于4欧姆）

·工作环境：20℃±2℃，温度变化<2℃/hr，湿度45%~75%，振动<0.002g，低于15Hz